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一种基板支撑装置,包含一外壳及多个球状支撑体。该外壳有一上表面,该上表面包含多个开口。该外壳用于将所述多个球状支撑体定位于所述多个开口内,因此所述多个球状支撑体的最上表面被排列于该上表面之上的一平面。所述多个球状支撑体的一球状支撑体可在该外...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种基板支撑装置,包含一外壳及多个球状支撑体。该外壳有一上表面,该上表面包含多个开口。该外壳用于将所述多个球状支撑体定位于所述多个开口内,因此所述多个球状支撑体的最上表面被排列于该上表面之上的一平面。所述多个球状支撑体的一球状支撑体可在该外...