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本发明提出了一种背靠背多层堆叠结构的MEMS移相器的相控阵天线单元，依次包括背靠背堆叠设置的天线辐射单元、上介质基板、公共地层、下介质基板、MEMS移相器和控制电路，其中，公共地层一侧为上介质基板，公共地层另一侧为下介质基板，上介质基板表面...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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