下载一种压电晶片及其制作方法的技术资料

文档序号:20223677

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本发明公开了一种压电晶片及其制作方法,提供了超薄压电晶片的减薄方法,压电晶片包括压电材料和至少被压电材料部分包裹的抗磨材料,抗磨材料硬度大于压电材料,抗磨材料做为晶片的移除截止部,利用移除截止部制作出来的压电晶片有更均匀厚度,且操作控制更加...
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