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本发明提供一种薄膜沉积方法及约瑟夫森结制备方法。薄膜沉积方法包括步骤：1）提供一衬底；2）在第一沉积条件下于衬底表面沉积具有第一应力的第一超导薄膜层；3）在第二沉积条件下于第一超导薄膜层表面沉积具有第二应力的第二超导薄膜层，第一超导薄膜层和...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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