下载3D存储器件的制造方法及3D存储器件的技术资料

文档序号:20223555

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本申请公开了一种3D存储器件的制造方法及3D存储器件。3D存储器件包括:叠层结构,所述叠层结构包括交替堆叠的多个栅极导体和多个层间绝缘层;贯穿所述叠层结构的多个沟道柱;位于所述叠层结构的第一表面和第二表面之一上的多条位线;以及位于所述叠层结...
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