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三维存储器的制造方法技术
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文档序号:20223553
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本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种三维存储器的制造方法。所述三维存储器的制造方法包括如下步骤:提供一衬底;形成导电连接垫于所述衬底之上;形成位线于所述导电连接垫之上,所述位线的端部沿垂直于所述衬底的方向与所述导电连接垫电连接;形成上...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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