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半导体器件制造技术
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文档序号:20223551
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一种半导体器件包括:栅电极,沿着垂直于衬底的上表面的方向堆叠,栅电极在与所述衬底的上表面平行的第一方向上延伸到不同的长度,每个栅电极包括在垂直于第一方向且与所述衬底的上表面平行的第二方向上彼此隔开的子栅电极以及将其中的子栅电极彼此连接的至少...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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