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提供一种半导体装置。所述半导体装置包括第一介电层、凸块、刻蚀终止层以及间隔壁。所述第一介电层设置在导电结构之上并暴露出所述导电结构。所述凸块局部地设置在所述第一介电层中以电连接所述导电结构。所述刻蚀终止层在所述凸块旁边设置在所述第一介电层之...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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提供一种半导体装置。所述半导体装置包括第一介电层、凸块、刻蚀终止层以及间隔壁。所述第一介电层设置在导电结构之上并暴露出所述导电结构。所述凸块局部地设置在所述第一介电层中以电连接所述导电结构。所述刻蚀终止层在所述凸块旁边设置在所述第一介电层之...