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一种12吋晶圆用平整固定装置包括：承载台；吸附固定部具有可相对于承载台上下移动的预固定单元和装载固定单元以及用于为预固定单元和装载固定单元分别提供真空负压的负压单元；压边固定部用于对装载固定在吸附固定部上的翘曲晶元的边缘区域进行平整固定；以...
该专利属于上海理工大学;上海微松工业自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学;上海微松工业自动化有限公司授权不得商用。

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