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本发明涉及半导体设备制造技术领域，旨在提供一种晶片传送装置。该装置包括左上料锁定装置、右上料锁定装置和反应腔；还包括晶片传送主体，左上料锁定装置和右上料锁定装置均通过门阀设于晶片传送主体同一侧部；对侧通过门阀连接反应腔，用于对晶片进行化学气...该专利属于浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。