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本发明涉及一种化学液槽装置，包括：槽体，用于盛放化学液以及待处理的晶圆；三个以上的喷嘴，所述喷嘴为长条形，平行设置于所述槽体的内壁及底部处，与晶圆放置平面垂直，用于向所述槽体内喷入化学液，所述喷嘴的喷液方向与晶圆放置平面平行；各个喷嘴的喷液...
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