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本发明涉及飞秒激光加工参数共焦拉曼光谱原位监测方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工制造技术领域。本发明将高轴向分辨的激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用共焦系统曲线最大值点对样品轴向位置进行纳米级监测和样品轴向加工...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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