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本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆弹性应变测量装置。所述晶圆弹性应变测量装置包括：承载部，具有晶圆承载面和位于所述晶圆承载面的充气孔；设置于所述承载部并围绕所述充气孔的固定部，所述固定部用于将晶圆的表面边缘固定并贴合在所述晶...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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