下载一种方基板水平电镀流场改善装置的技术资料

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一种方基板水平电镀流场改善装置,包括电镀槽、阴极、阳极、方基板和多孔式水刀,所述电镀槽为矩形槽体,电镀槽内盛放电镀液,阴极为板状,阴极位于电镀槽的上部且位于电镀液表层下方,阳极与阴极为一致的板状,阳极安装在阴极的正下方电镀液中,方基板安装在...
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