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一种湿式制程设备液流物理洗净装置，横向安装在湿式制程设备中，包括本体，本体包括特氟龙管，所述特氟龙管为一端封口，另一端设有连接孔的圆柱形腔体，其连接孔端与湿式制程机台的药液进液管联通，且端部与湿式制程机台的传动装置轴套连接，特氟龙管的圆柱外...
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