下载3D存储器件的技术资料

文档序号:20162948

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公开了一种3D存储器件包括:核心区域,所述核心区域具有沟道孔;辅助区域,所述辅助区域包括虚拟孔和/或沟槽;所述3D存储器件沿垂直于所述3D存储器件表面方向的底层为衬底,其中,所述沟道孔的底部具有外延层,所述虚拟孔和/或沟槽的底部具有氧化物层...
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