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一种压边固定机构，安装在封装设备中，用于对放置在封装设备中的翘曲晶圆的边缘区域进行平整固定，包括：支架，固定在封装设备上；以及压边单元，安装在支架上，可相对于支架上下移动，用于压平边缘区域，具有压盘和安装在压盘上的多个压边头，其中，压盘具有...
该专利属于上海理工大学;上海微松工业自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学;上海微松工业自动化有限公司授权不得商用。

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