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本实用新型公开了一种基于电荷的电容测量装置，包括待测器件阵列、探针卡和外部测试机，待测器件阵列包括若干呈阵列分布的待测器件及若干焊盘，所述焊盘与待测器件对应连接；探针卡包括若干探针和至少一个CBCM测量电路，CBCM测量电路的信号输入端与外...
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