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三维存储器件制造技术
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文档序号:20123021
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公开了三维(3D)存储器件的实施例。在示例中,3D存储器件包括衬底、设置在衬底上的外围设备、设置在外围设备之上并包括多个导体/电介质层对的存储堆叠层、以及多个存储器串。每个存储器串垂直延伸穿过存储堆叠层,并且包括漏极选择栅和漏极选择栅之上的...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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