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12英寸多功能扩展化学沉积制程腔设备，包括传送腔、准备腔、制程腔、冷却腔、晶圆承载台、工作台和机械手臂。所述的工作台呈长方形，与传送腔相连；所述的传送腔呈方形，中间有圆形孔洞，用于放置机械手臂，传送腔与工作台、冷却腔和制程腔相连；所述的冷却...
该专利属于上海陛通半导体能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海陛通半导体能源科技股份有限公司授权不得商用。

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