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大口径光栅衍射效率光谱及其均匀性的测量装置和方法制造方法及图纸
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下载大口径光栅衍射效率光谱及其均匀性的测量装置和方法的技术资料
文档序号:20092915
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本发明设计了一种大口径光栅衍射效率光谱及其均匀性的测量装置和方法,该装置中包括激光光源、光阑、偏振片、分束器、参考光探测器、二维扫描机构、聚焦透镜、积分球和测试光探测器,沿激光传播方向依次设置光阑、偏振片和分束器,分束器将入射光束分为参考光...
该专利属于武汉理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉理工大学授权不得商用。
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