下载一种大规模无定形硅颗粒的制备方法的技术资料

文档序号:20086429

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本发明提供了一种大规模无定形硅颗粒的制备方法,所述无定形硅颗粒生长在单晶碳化硅表面,所述制备方法包括如下步骤:S100:对单晶碳化硅片进行加热处理;S200:当所述密封环境的温度升温至500℃‑2000℃后,进行保温处理;所述保温处理的时间...
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