下载三维存储器的技术资料

文档序号:20048041

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本发明提供一种三维存储器,包括虚拟阶梯结构和堆叠结构,所述虚拟阶梯结构包括多级台阶,每级所述台阶具有不同的高度;所述堆叠结构共形地形成于所述虚拟阶梯结构上,所述堆叠结构包括交替堆叠的栅极层和介质层;所述堆叠结构位于第N级所述台阶上的叠层数量...
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