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用于评估栅氧层TDDB极性差异的测试结构及测试方法技术
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下载用于评估栅氧层TDDB极性差异的测试结构及测试方法的技术资料
文档序号:20048021
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一种用于评估栅氧层TDDB极性差异的测试结构及测试方法,测试结构包括:第一测试晶体管,第一测试晶体管中,第一背栅极分别与第一源级和第一漏极连接;与第一栅极连接的第一量测模块;第二测试晶体管,第二测试晶体管中,第二背栅极分别与第二源级和第二漏...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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