下载用于评估栅氧层TDDB极性差异的测试结构及测试方法的技术资料

文档序号:20048021

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于评估栅氧层TDDB极性差异的测试结构及测试方法,测试结构包括:第一测试晶体管,第一测试晶体管中,第一背栅极分别与第一源级和第一漏极连接;与第一栅极连接的第一量测模块;第二测试晶体管,第二测试晶体管中,第二背栅极分别与第二源级和第二漏...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。