下载一种成像系统及样品探测方法的技术资料

文档序号:20021114

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本发明公开了一种成像系统,包括:显微电子计算机断层扫描(micro‑CT)子系统、样品加工子系统和扫描电子显微镜(SEM)和处理器;所述micro‑CT子系统包括:X射线源和X射线探测器,用于获取样品的三维图像;所述样品加工子系统包括:聚焦...
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