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本发明提供了一种线圈调节机构，包括旋转件和与旋转件连接的移动转换组件，移动转换组件用于将旋转件的旋转运动转换为沿旋转件的旋转轴线方向的直线运动，移动转换组件包括安装件、移动杆和至少一个定位件，其中，移动杆设置于安装件中，且移动杆的轴线方向与...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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