下载存储器结构及其制造方法的技术资料

文档序号:20008635

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本申请公开了一种存储器结构及其制造方法,该制造方法包括:对半导体衬底进行掺杂,形成第一掺杂区和第二掺杂区;在半导体衬底的第一表面上形成第一阵列叠层,第一阵列叠层具有多个第一存储单元,每个第一存储单元包括第一栅极导体与第一沟道柱的一部分;在半...
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