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3D-NAND闪存制造技术
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下载3D-NAND闪存的技术资料
文档序号:20008630
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一种3D‑NAND闪存,包括:半导体衬底;位于所述半导体衬底上的堆叠结构,所述堆叠结构包括交错层叠的若干层绝缘层和若干层导电层;贯穿所述堆叠结构的沟道结构,所述沟道结构包括高K栅介质层和沟道牺牲层,所述高K栅介质层在垂直于半导体衬底的方向上...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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