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3D存储器件及其制造方法技术
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文档序号:20008614
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本申请公开了一种3D存储器件及其制造方法。所述3D存储器件包括:第一阵列结构,第一阵列结构包括第一衬底、位于第一衬底上的第一栅叠层结构、以及贯穿第一栅叠层结构的多个第一沟道柱;第二阵列结构,堆叠在第一阵列结构上方,第二阵列结构包括第二衬底、...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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