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半导体器件及其制造方法。一种半导体器件包括第一半导体层、与第一半导体层间隔开并设置在第一半导体层上的第二半导体层、设置在第二半导体层上的栅极层叠结构、设置在第一半导体层和第二半导体层之间的第三半导体层以及穿过栅极层叠结构、第二半导体层和第三...
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