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本发明提供一种带清洁喷嘴的盖体、热处理装置以及热处理装置用盖体的清洁方法。该带清洁喷嘴的盖体能够将附着、堆积到盖体上表面的颗粒去除，能够进行精度比以往的精度高的颗粒管理。通过提供一种带清洁喷嘴的盖体来解决上述问题，该带清洁喷嘴的盖体的特征在...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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