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本发明提供一种热处理装置、热处理装置的管理方法以及存储介质。当在热板上载置晶圆来进行热处理时，对热处理装置运转时发生的异常采取恰当的应对。从紧挨着将晶圆载置到热板(3)上之前起以规定的采样间隔采集热板(3)的温度的检测值、对热板(3)进行加...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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