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该发明涉及一种液体槽，其中，所述液体槽包括：槽体，用于盛放液体，所述槽体的底部设有若干进水口；设有若干通孔的流量均匀板，所述流量均匀板用于放置在所述槽体内，并将所述槽体所围成的空间沿所述槽体的深度方向分隔为上腔和下腔，待处理物体用于放置在所...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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