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本发明提供了一种复合电容结构，依次包括第一导电层，第一绝缘层，第二导电层，第二绝缘层，第三导电层，第三绝缘层以及第四导电层，其中第一电容结构包含第一导电层，第一绝缘层和第二导电层，第二电容结构包含第二导电层，第二绝缘层和第三导电层，第三电容...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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