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本实用新型提供了一种快速冷却系统，包括：处理设备、冷却装置、侦测装置及控制装置。处理设备包括处理腔室、用于承载制品的制品承载台和加热板；其中，制品承载台和加热板均位于处理腔室内；冷却装置包括气体源、气体管路和阀门，气体管路一端与气体源相连接...
该专利属于中芯长电半导体（江阴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯长电半导体（江阴）有限公司授权不得商用。

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