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本发明公开了一种微机电系统阵列式铂薄膜温度传感器，包括绝缘基底、铂薄膜电阻温度传感器、聚酰亚胺薄膜，绝缘基底为硅基底或氧化铝陶瓷基底上沉积氧化硅绝缘层制成，绝缘基底之上沉积有铂薄膜电阻温度传感器，铂薄膜电阻温度传感器呈阵列分布，铂薄膜电阻温...
该专利属于宁波中车时代传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波中车时代传感技术有限公司授权不得商用。

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