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本实用新型提供的托盘旋转机构，其通过采用磁力传动，即，使第一磁芯组与第二磁芯组分别位于密封罩的内外两侧，并通过第二磁芯组旋转时产生的磁场与第一磁芯组产生的磁场相互作用来带动第一磁芯组旋转，从而带动旋转轴及托盘旋转。同时，通过采用磁力传动可以...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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