下载反应腔室的排气装置及反应腔室的技术资料

文档序号:19954703

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本发明提供一种反应腔室的排气装置及反应腔室,其包括两支排气管,两支排气管的第一端在水平方向上相互间隔,且均与反应腔室的内部连通;两支排气管的第二端位于反应腔室的外部,且汇聚在一起,两支排气管相对于水平方向向上倾斜,且相互对称。本发明提供的反...
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