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本发明公开了一种CrB2涂层的制备方法。采用直流磁控溅射法,设计靶源磁场由位于靶面底部的环形磁铁与直线型磁铁组成,通过对靶源磁场的设计,使靶面不同位置具有不同的磁场强度,并对应的放置一系列样品,在各样品表面沉积CrB2涂层,然后对各涂层进行...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种CrB2涂层的制备方法。采用直流磁控溅射法,设计靶源磁场由位于靶面底部的环形磁铁与直线型磁铁组成,通过对靶源磁场的设计,使靶面不同位置具有不同的磁场强度,并对应的放置一系列样品,在各样品表面沉积CrB2涂层,然后对各涂层进行...