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本发明提供一种吹扫方法，包括吹扫步骤：向腔室内通入吹扫气体，按照预设参数开始进行吹扫，在吹扫过程中向静电卡盘的直流电极加载第一电压。本发明提供的吹扫方法，使得静电卡盘及其周围工艺套件上的带电颗粒容易被吹扫掉，从而可以提高产品良率。...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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