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下载纳米带的制备方法的技术资料

文档序号:19937050

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本发明涉及一种纳米带的制备方法,包括以下步骤:提供一基板,在基板表面设置一半导体薄膜,在半导体薄膜表面设置间隔的条状掩模块,厚度为H,间隔距离为L;向半导体薄膜表面沉积第一薄膜层,第一薄模层的厚度为D,沉积方向与条状掩模块的厚度方向夹角为θ...
该专利属于清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司授权不得商用。

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