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本文描述了通过RF脉冲形状进行离子能量控制，具体描述了用于离子能量的斜坡控制的方法。该方法包括接收指示使用射频(RF)脉冲信号来执行蚀刻操作的设置。RF脉冲信号包括第一状态和第二状态。第一状态相比于第二状态具有较高的功率电平。该方法还包括接...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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