下载三维存储器的技术资料

文档序号:19934247

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本实用新型提供一种三维存储器,包括:衬底;位于所述衬底上的堆叠层,所述堆叠层包括沿垂直于所述衬底的方向间隔排列的若干层栅极层;穿过所述堆叠层的沟道孔;位于所述沟道孔内的沟道层和漏极;所述漏极位于所述沟道层之上,所述漏极沿所述沟道孔的径向向外...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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