下载一种反射镜姿态变换面形检测装置的技术资料

文档序号:19930910

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本发明涉及光电测量技术领域,具体公开一种反射镜姿态变换面形检测装置,检测装置包括:机身、第一线性平台、第二线性平台、第三线性平台、气囊减振器、第一转台、第二转台、第三转台、4D干涉仪以及CGH补偿器;通过发送指令控制第一线性平台、第二线性平...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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