下载集成电路电容器及半导体器件的技术资料

文档序号:19906231

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本实用新型提供一种集成电路电容器及半导体器件,所述集成电路电容器包括第一电极板,位于第一电极板上的电容介电层以及位于电容介电层上的第二电极板,电容介电层包括多层结晶态第一介电层,且第一介电层中掺杂有至少一种掺杂元素,以促使第一介电层的结晶态...
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