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本发明涉及通过电子辐射改变光学元件(14)的表面(12)的形状的装置(10)。装置(10)包括电子辐射单元(16)，该电子辐射单元(16)以局部分辨的能量剂量分布(36)将电子辐射到表面(12)上，以便于在光学元件(14)中产生局部材料压缩...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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