下载掩模框架及真空处理装置的技术资料

文档序号:19874946

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本发明设为以下构成:无需在相互邻接的框架元件上设置用以填埋间隙的特别构件,即使变更掩模框架的开口部的尺寸,也不会在各框架元件之间产生间隙。本发明是具有矩形的开口部的掩模框架,其包括具有与开口部的四边分别相对应的长度方向的4个框架元件,各框架...
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