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具有非分立的源极区和漏极区的纳米线结构制造技术
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下载具有非分立的源极区和漏极区的纳米线结构的技术资料
文档序号:19862462
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描述了具有非分立的源极区和漏极区的纳米线结构。例如,半导体器件包括布置在衬底之上的多条垂直堆叠的纳米线。每条纳米线包括布置在纳米线中的分立的沟道区。栅极电极叠置体包围多条垂直堆叠的纳米线。一对非分立的源极区和漏极区布置在多条垂直堆叠的纳米线...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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