下载晶圆切割方法的技术资料

文档序号:19862461

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本公开涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种晶圆切割方法。所述晶圆切割方法包括:在待切割的晶圆未制作器件的一面贴划片膜;使用装配于划片机的第一轴上的金刚石划片刀在所述晶圆制作有器件的一面进行划片切割,形成位于所述器件之间的切割槽;使用装配于...
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