下载半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:19831629

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本申请提出了一种半导体器件及其制造方法,包括:在第一衬底上依次生长缓冲层和势垒层;在所述势垒层上生长源极、漏极和第一栅极,形成第一结构;在所述第一结构上生长介质层;将所述介质层与第二衬底键合,并去除所述第一衬底,形成第二结构;将所述第二结构...
该专利属于苏州汉骅半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州汉骅半导体有限公司授权不得商用。

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